第九十四章 光刻机比想象的容易

明渐 / 著投票加入书签

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    光刻机很难。

    真的非常非常难。

    难度系数是氢弹的十倍。

    哪怕倾举国之力也不可能在短期内拿得下。

    以上这些,是经常充斥在卫明耳边的话,听得他几乎耳朵长茧。

    真的有那么难么?

    这些天,亲自进入研发工厂,了解透了光刻机的工作原理,在“老板工作间”内,利用体内的小黑,轻松打磨出几十个合格的高精密零件,以及20块的“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片,由四十层玻璃叠加而成,表面凸起都不得超过1纳米。

    “很简单嘛,好像没什么难的。”

    看着面前成批成批的精度完全合格的零件,卫明撇了撇嘴说道。

    “到底难在了什么地方?”

    “光源发生器非常难。”

    蒲伟才说道:“要制造出波长13.5纳米的极紫外光,必须要用193纳米波长的深紫外光,击打自由落体的金属锡滴,并且要在极短的时间内,连续击中锡滴两次,每秒重复5万次,才能产生足够强度的极紫外光。”

    要知道金属锡滴的直径只有二十微米。

    自由落体过程中,不仅要被激光击中,由水滴状摊平成圆饼状,再进行第二次击打,才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程,完全是动态中发生的,如同用绣花针击中苍蝇,而且要连续击中两次。

    并在一秒内,重复五万次这套操作。

    “你不是说已经解决光源问题了么?而且能源利用率达到了5%?”卫明不解的道。

    “光源是解决了,是因为我们用的击打光源,是特殊晶体击发出的132纳米光,能量利用率肯定比193纳米光高的多,但要想制造强度足够的13.5纳米波长的极紫外光,还是得通过击打锡滴的方式达到,这是唯一可行的路径。”

    “也就是说,你们只搞定了击打光源,然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧?”

    卫明眉头皱了起来。

    “卫总,不是我们爱搞虚假宣传,可是长期的科学研究,如果没有点成果的话,谁会关注我们,上面怎么给我们拨款?所以哪怕只是部分突破,也得重点宣传一番。”

    一旁的向广林解释说道。

    “我们正在攻克的最后一项技术难题,就是锡滴的击打频率问题。”

    蒲伟才也道:“我们已经解决了连续击打问题,但每秒最多重复5000次,不过我们的能量利用率更高,只需做到每秒重复2万次,就有足够使用的光照强度了。”

    “所以我们的能量利用率不是没有意义,每秒2万次比每秒5万次,明显容易实现多了。”

    “每秒2万次……”

    卫明沉吟了一下,道:“还缺什么条件,阻止你们达到这个频率?”

    “精度,控制系统的精度。”

    蒲伟才说道:“如同一个时钟,同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落,以及4万次的击打,时间上,每秒内的误差,不得超过十亿分之一秒;距离上,每秒不能超过1纳米,并且还要设计一套‘偏差纠正’系统,只要误差累积过大,就会自动纠正,让系统长期稳定的运转下去。”

    “目前我们正在全力攻克控制系统,纠偏系统稍稍靠后,但也安排了团队进行攻关。”

    “当然如果从岛国进口的相关零件,很快能到我们手中,可能三个月内,我们就能实现击打频率突破2万次。”

    岛国?

    三个月?

    卫明摇头笑了笑,道:“缺什么零件,就交给我吧,我给你们捣鼓出来。”

    接着他连续捣鼓了三天时间。

    激光频率控制器。

    高灵敏距离感应器。

    还有这个什么器,那个什么装置,以及卫明叫不出专业名称的东西。

    三天内他一共搞了十几个。

    然后让蒲伟才他们,把这些装置,塞入到控制系统中,以极高精度要求,组装到了一起。

    再开启了试运行。

    “释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。

    “开始释放。”

    “两次击打成功,摊平形状完美,激发效果完美!”

    “增加释放频率。”

    “每秒50次试验成功。”

    “每秒500次试验成功!”

    “每秒5150次试验成功!追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。

    “继续增加!往上加高一点!”

    蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录?

    “每秒5500次试验成功,创造新的纪录!”

    “再加!”

    每秒7000

    每秒9000

    每秒1万

    ……

    一直加到每秒2万,满足使用频率要求。

    所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功!

    “再加,再往上加!”

    每秒3万

    每秒4万

    每秒4万5

    每秒5万!

    “锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊。

    “转化光强是额定光强的2.5倍!”

    向广林眼睛通红的大吼:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈EUV的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”

    “你们别叫!”

    蒲伟才高高挥起了手,目光盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响到它的发挥。”

    所有人都安静了下来。

    屏住了呼吸。

    目光都死死盯上了持续时间。

    5分钟

    15分钟

    第29分38秒

    由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运行。

    啪!

    蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只需设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少降低10%,为我们省下大量的时间!”

    “太厉害了,太神奇了!”

    作为项目负责人,他自己也大呼小叫:“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的EUV光刻机,完成度至少超过90%!”

    “我们完全看到胜利的希望了!”

    说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。

    坚持十几年了!这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然触手可及。

    见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。

    “还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”

    一个略有些扫兴的声音传来。

    却听卫明说道:“蒲博士,刚才你还一脸抗拒的样子,怀疑我打磨过的东西不能用,现在呢?信我说的话了吧,零件问题,对我公司不是个问题,你说的技术难点,感觉也不怎么难。”

    “没错没错。”

    蒲伟才连忙擦泪,露出一张童真笑脸:“卫总你说的没错,只要卫总出马,光刻机,没有任何什么难点,我相信在卫总的带领下,我们能解决一切技术问题!”

    他这次是真心服了,眼里只有崇拜。

    “没错,完全多亏了卫总。”

    “卫总辛苦了,给卫总捶捶肩。”

    “卫总的神级打磨,能创造工业上的奇迹!”

    “卫总才是最大的功臣,感谢卫总。”

    又一波马屁声覆盖而来。

    这一次,蒲伟才不仅没有咳嗽制止,反而是里面拍的最厉害的那个。

    当然,马屁听一小会就够,卫明让他们马上投入到工作中,继续寻找问题,解决问题,直到没有任何问题为止。